左文科技的核心競爭力是依托于其**的MPCVD設(shè)備技術(shù)與持續(xù)的科研**能力，設(shè)備采納了行業(yè)前沿的技術(shù)與工藝，注重對金剛石材料生長過程的一致性和重復性的精準把控，從而確保設(shè)備的**性能和金剛石的優(yōu)良品質(zhì)。自創(chuàng)立之初，我們便專注于碟形腔MPCVD設(shè)備的研發(fā)與量產(chǎn)化進程，歷經(jīng)五年時光與上百臺設(shè)備的持續(xù)生產(chǎn)驗證及迭代升級，如今在2.45GHz頻段已成功量產(chǎn)6kW、10kW及15kW的MPCVD設(shè)備，并正積極測試915MHz頻段的大功率設(shè)備。 在金剛石材料工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，左文科技憑借深入的研究與實踐，開發(fā)出了一系列適應(yīng)于刀具、熱沉片、光學窗口、半導體材料等多個領(lǐng)域的先進應(yīng)用工藝。 在金剛石材料珠寶應(yīng)用領(lǐng)域，我們目前能夠量產(chǎn)20克拉以上的無色、藍色、粉色及黃色等多種顏色的裸鉆，毛坯尺寸覆蓋7mm×7mm至20mm×20mm，重量則從4克拉跨越至30克拉，并正致力于50克拉鉆石毛坯的量產(chǎn)化工藝開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域：
系統(tǒng)參數(shù)
型號
ZW-06SA-6KW
ZW-10MKS-10KW/15KW
微波電源功率
2.45GHz 6KW
2.45GHz 10KW/15KW
反應(yīng)腔
掀蓋式鋁制碟形腔
輸入氣路
標準四路氣路(可選配加裝至六路)
生長臺類型
水冷式不銹鋼生長臺，銅散熱底盤
襯底沉積臺
*大支持2.36英寸、60mm直徑圓臺面 積穩(wěn)定沉積
*大支持3.15英寸、80mm直徑圓臺面積 穩(wěn)定沉積
系統(tǒng)真空密封性
(氦質(zhì)譜檢漏儀測)
真空度(氦檢)<5x10`Pa.m3/sec
真空度(氦檢)<5x101Pa.m3/sec
真空泵類型
真空油泵18m3/h(50hz)(選配)
工作壓力范圍
工作作壓力：10-300Torr
溫度計
雙波紅外溫度計(500-1475℃),可選紅外 成像溫度計
控制系統(tǒng)
PLC控制系統(tǒng)，自動控制人機交互操作界面
觀察窗
標配兩個側(cè)觀察窗， 一個頂觀察窗
輸入電源
380V,三相五線
輸入水壓及流量
水壓小于5bar,流量6L/M以上
水壓小于5bar,流量9L/M以上
系統(tǒng)設(shè)備尺寸
系統(tǒng)設(shè)備尺寸160cmx90cmx100cm
重量
350KG
400KG
設(shè)備優(yōu)勢
◆超過1萬小時的生產(chǎn)運行，三年批量用于生產(chǎn)驗證，可量 產(chǎn)白色及彩色鉆石的粗坯
◆反應(yīng)可控，起輝位置固定，穩(wěn)定輸出功率
◆等離子體遠離石英窗口
◆采用不銹鋼臺及銅散熱底盤，可耐高溫
◆銅底盤沉積物更容易清理
◆采用水冷高效散熱設(shè)計，*大散熱功率達12KW
◆高可靠性，高實驗重復性，高耐久性
◆可高度自動化控制的軟件系統(tǒng)
◆采用上掀蓋設(shè)計，易于清洗及快速二次生長
系統(tǒng)特點：
◆穩(wěn)定的沉積面積，鉬生長臺直徑50-80mm
◆支持微波電源功率6KW/10KW/15KW
◆使用純凈石英窗口
◆采用不銹鋼臺，可耐高溫
◆高壓力控制，可產(chǎn)生高密度單模式等離子體
◆使用高精度氣體質(zhì)量流量計，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)
◆穩(wěn)定的微波源輸入，包括 Sairem,Mugee,MKS Instrument 等電源
◆可采用電機升降及功率壓力比例智能自動控制生長溫度
◆具有**互鎖機制，可自動觸發(fā)并處理風險